全自動紫外線芯片應力測量儀-鉑悅儀器（上海）有限公司

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全自動紫外線芯片應力測量儀

更新時間：2020-12-14

產品品牌：Frontier Semiconductor

產品型號：FSM360

產品描述：全自動紫外線芯片應力測量儀一臺全自動紫外線——可見光RAMan儀器，主要用與測量芯片應力。

FSM360是一臺全自動紫外線——可見光RAMan儀器，主要用與測量芯片應力。

利用微米直徑光斑照射。

芯片會產生另外一個光束（Raman信號），Raman信號的頻率有別于原來的光源。

從Raman信號頻率我們可以測出樣本的應力大小。

紫外線Raman主要用于薄膜或樣本表面的應力測量。

可見光Raman主要用于多層薄膜或厚樣本的應力測量。

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